無塵室與Mini-Environment的概念
無塵室與Mini-Environment的概念
無塵室亦稱為潔凈室或清凈室，是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。無塵室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為無塵室。
空氣潔凈技術最早發展產生在第二次世界大戰期間的美國，當時主要是應用于軍事領域，以滿足戰爭的需要。空氣凈化的核——高效過濾器，在當時研制成功。
工業無塵室
以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）、宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）、LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。
生物無塵室
主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為：一般生物無塵室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業無塵室。例：制藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。生物學安全無塵室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。
天花板系統、空調系統、隔墻板、地板（高架地板或防靜電舒美地板）和照明器具（日光燈、黃色燈管等）。
1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2.能防止微塵粒子之產生。
3.溫度和濕度之控制。
4.壓力之調節
5.有害氣體的排除。
6.結構物與隔間之氣密性。
7.靜電之防制。
8.電磁干擾預防。
9.安全因素之考慮。
10.節能之考量。
依氣流流動方式分類：
1.亂流式(Turbulent Flow)——氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態，適用于無塵室等級1000~100000級。
2.層流式(Laminar)——分水平層流式和垂直層流式兩種，一般適用在無塵室等級1~100級。3.復合式（MixedType）——將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。潔凈隧道、潔凈管道、潔凈工作臺、潔凈工作棚等。
依建筑物結構分類：1.雙樓層潔凈室式 2.三樓層式 3.單樓層式
依建筑物結構分類：1.BallRoom——單區大空間式 2.Bayand Chase——隧道式
以BallRoom為架構之潔凈室，因僅需對晶圓會暴露于環境中的局部區域架設超潔凈環境，而不需花費大量成本進行全區環境潔凈度的提升。因此我們將此一局部超潔凈之區域稱為“Mini-Environment”。lMini-Environment的架構可由廠務FFU系統延伸或機臺設備本身建構FFU系統兩種。
Mini-Environment的架構可由廠務FFU系統延伸或機臺設備本身建構FFU系統兩種。
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