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    無塵室與Mini-Environment的概念

    摘要:

    無塵室與Mini-Environment的概念

    無塵室亦稱為潔凈室或清凈室,是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。無塵室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。

    空氣潔凈技術最早發展產生在第二次世界大戰期間的美國,當時主要是應用于軍事領域,以滿足戰爭的需要。空氣凈化的核——高效過濾器,在當時研制成功。

    工業無塵室

    以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染,內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業(半導體、集成電路等)、宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)、LCD(液晶玻璃)、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。

    生物無塵室

    主要控制有生命微粒(細菌)與無生命微粒(塵埃)對工作對象的污染。又可分為:一般生物無塵室,主要控制微生物(細菌)對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕,內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業無塵室。例:制藥工業、醫院(手術室、無菌病房)食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。生物學安全無塵室:主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例:細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程(重組基因、疫苗制備)。

    天花板系統、空調系統、隔墻板、地板(高架地板或防靜電舒美地板)和照明器具(日光燈、黃色燈管等)。

    1.能除去空氣中飄游之微塵粒子。

    2.能防止微塵粒子之產生。

    3.溫度和濕度之控制。

    4.壓力之調節

    5.有害氣體的排除。

    6.結構物與隔間之氣密性。

    7.靜電之防制。

    8.電磁干擾預防。

    9.安全因素之考慮。

    10.節能之考量。

    依氣流流動方式分類:

    1.亂流式(Turbulent Flow)——氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態,適用于無塵室等級1000~100000級。

    2.層流式(Laminar)——分水平層流式和垂直層流式兩種,一般適用在無塵室等級1~100級。3.復合式(MixedType)——將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。潔凈隧道、潔凈管道、潔凈工作臺、潔凈工作棚等。

    依建筑物結構分類:1.雙樓層潔凈室式 2.三樓層式 3.單樓層式

    依建筑物結構分類:1.BallRoom——單區大空間式 2.Bayand Chase——隧道式

    BallRoom為架構之潔凈室,因僅需對晶圓會暴露于環境中的局部區域架設超潔凈環境,而不需花費大量成本進行全區環境潔凈度的提升。因此我們將此一局部超潔凈之區域稱為“Mini-Environment”。lMini-Environment的架構可由廠務FFU系統延伸或機臺設備本身建構FFU系統兩種。

    Mini-Environment的架構可由廠務FFU系統延伸或機臺設備本身建構FFU系統兩種。





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